①工作原理和使用范圍真空翻板閥工作原理如圖22-6所示。閥板運(yùn)動(dòng)由兩個(gè)動(dòng)作組成，即閥板平動(dòng)和翻轉(zhuǎn)，平動(dòng)用于壓緊或脫離密封面，翻轉(zhuǎn)用于將閥板翻轉(zhuǎn)一定角度（通長(zhǎng)為0°?90°），以獲得一定的通導(dǎo)能力。和真空擋板閥相比，優(yōu)點(diǎn)是閥桿運(yùn)動(dòng)距離短，動(dòng)作速度快，閥體總高度較小，缺點(diǎn)是全開啟后，閥板仍處于氣流通道上，增加了流阻。閥體尺寸較大，要留有足夠閥板翻轉(zhuǎn)空間，防止碰撞卡住。整體機(jī)構(gòu)較擋板復(fù)雜，制造成本較高。

真空翻板閥閥板翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)類型很多，常見的有：四連桿傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、蚌線機(jī)構(gòu)、鏈板翻板機(jī)構(gòu)以及止動(dòng)桿翻板機(jī)構(gòu)。驅(qū)動(dòng)方式有手動(dòng)、液壓傳動(dòng)、氣動(dòng)、手電兩用傳動(dòng)等。

真空翻板閥適合于中、大型口徑的高真空、超高真空抽氣系統(tǒng)中，多為直角式，可充分利用抽氣管道中的彎頭空間。

閥門適用介質(zhì)為非腐蝕性潔凈氣體，閥板密封采用丁腈橡膠，可用于介質(zhì)溫度為一25?80°C的高真空系統(tǒng)。采用氟橡膠可用于烘烤溫度150°C以下的超高真空系統(tǒng)。

②形式和性能參數(shù)CF-J型手動(dòng)翻板閥是靠人工旋轉(zhuǎn)閥門手柄使閥板上下運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)閥板啟閉動(dòng)作。

CFChJ型氣動(dòng)翻板閥是利用壓縮空氣為動(dòng)力，通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，使汽缸中活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)， 帶動(dòng)閥板啟閉，實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)中的氣流截止或?qū)ā?/p>

（5）真空蝶閥

①工作原理和使用范圍真空蝶閥的工作原理是靠固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的蝶板旋轉(zhuǎn)90°實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。和其他相同口徑的真空閥門相比，真空蝶閥具有結(jié)

構(gòu)簡(jiǎn)單，通導(dǎo)能力大，閥體結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度短，啟閉速度快等優(yōu)點(diǎn)。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的真空蝶閥有手動(dòng)、氣動(dòng)、電磁動(dòng)三種形式，手動(dòng)真空蝶閥適用小口徑（公稱尺寸DN32? 300）真空抽氣系統(tǒng)、抽氣管道接通或截止氣流之用， 氣動(dòng)和電動(dòng)真空蝶閥，zui大公稱尺寸可達(dá)DN5000。

真空蝶閥在開位、關(guān)位都有自鎖功能，閥板可承受0. 3MPa的氣體壓力，不怕振動(dòng)，可在任意位置安裝，閥桿不竄動(dòng)。

真空蝶閥使用的介質(zhì)為潔凈空氣及不含顆粒粉塵的非腐蝕性氣體，密封材料選用丁腈橡膠，可用于介質(zhì)溫度在一25?80°C的高真空系統(tǒng)中，選用氟橡膠密封圈，可用于烘烤溫度150°C的超高真空系統(tǒng)中。

②形式和性能參數(shù)手動(dòng)高真空蝶閥有GI型、 GI-A型。GI型真空蝶閥的外形如圖22-7所示。漏氣速率小于 IXIQ-6Pa. L/s0

GIQ氣動(dòng)真空蝶閥，采用1/4旋轉(zhuǎn)汽缸，轉(zhuǎn)角可調(diào)，設(shè)有開位和關(guān)位電信號(hào)裝置，可作為自動(dòng)控制信號(hào)源實(shí)現(xiàn)蝶閥啟閉的自動(dòng)控制。外形見圖22-8。

GIQ系列氣動(dòng)真空蝶閥的漏率小于1X10-5 Pa • L/s0密封材料為丁腈真空橡膠，氣源壓力為0.4? 0. 6MPa,適用于介質(zhì)溫度一25?80°C，壓力7X 10-4?105Pa的高真空抽氣系統(tǒng)及抽氣管道中。

手、電兩用型GID電動(dòng)真空蝶閥，采用1/4旋 轉(zhuǎn)的電動(dòng)裝置，工作平穩(wěn)，噪聲?。ㄅc氣動(dòng)閥相比）， 可在任意方向安裝，閥門開位和關(guān)位均有電信號(hào)裝 置、用于顯示閥板開閉狀態(tài)和自動(dòng)控制的信號(hào)源。 GID系列電動(dòng)真空蝶閥外形見圖2H

GID系列電動(dòng)真空閥門的閥板密封材料為丁腈真空橡膠，使用介質(zhì)和環(huán)境溫度為一25?80°C，漏氣速率小于lX10-6Pa • L/s,適用于10_4Pa高真空設(shè)備及抽氣管道中。